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世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較. 209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,
世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較.
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位,潔凈室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示.
美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準.日本標準之表示法以Class1,Class2,Class3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class8,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得.
潔凈室按用途分類(可分為兩大類)
(1)、工業潔凈室——以無生命微粒的控制為對象.主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態. 它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業.
(2)、生物潔凈室,主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染.又可分為;
A、一般生物潔凈室,主要控制微生物(細菌)對象的污染.同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓.實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業潔凈室.例:制藥工業、醫院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等.
B、生物學安全潔凈室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染.內部要保持與大氣的負壓.例:細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)